F50 系列
自動化薄膜測繪
Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平台可接受標準和客制化夾盤，樣品直徑可達450毫米。(耐用的平台在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創造自己的測繪方法，並且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。
不同的F50 儀器是根據波長范圍來加以區分的。標準的F50是最受歡迎的產品。一般較短的波長(例如， F50-UV) 可用於測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的內容：
集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200
BK7 參考材料
整平濾波器(用於高反射基板)
真空泵
備用燈
型號規格
*取決於薄膜種類
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型號
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厚度範圍*
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波長範圍
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F50
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20nm-70μm
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380-1050nm
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F50-UV
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5nm-40μm
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190-1100nm
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F50-NIR
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100nm-250μm
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950-1700nm
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F50-EXR
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20nm-250μm
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380-1700nm
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F50-UVX
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5nm-250μm
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190-1700nm
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F50-XT
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0.2μm-450μm
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1440-1690nm
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F50-s980
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4μm-1mm
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960-1000nm
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F50-s1310
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7μm-2mm
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1280-1340nm
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F50-s1550
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10μm-3mm
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1520-1580nm
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