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IoN 100 Plasma System
產品簡介

IoN 100 是一種筒式等離子體反應器,專為研發和生產應用而設計。該技術基於 International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和 PVA TePla 在 50 多年的時間裡開發的經過驗證的反應器設計。IoN 100 使用更大的機箱,提供所有氣體和電源連接。

功能包括:

  • 即插即用自安裝
  • 柔性電極
  • 帶液晶觸摸屏和鍵盤的工業計算機。
  • 基於 Windows 的操作系統。
  • 圖形用戶界面 (GUI) 軟件符合
  • CFR Title 21 Part 11 和 Semi E95-1101
  • 多級用戶訪問
  • 軟件
    • 用於快速和多功能步驟控制的配方編輯器
    • 板載診斷功能和報警記錄
    • 通過以太網進行遠程過程監控
    • 基於網絡的在線模擬/培訓/支持
  • 機箱上的泵電源插座
  • 節能功能—泵控制

典型應用:

  • 表面清潔
  • 表面活化
  • 表面功能化
  • 矽氧烷和有機薄膜的沉積
諮詢熱線:400-600-8500

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