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LDI激光直寫光刻機
產品簡介
項目
參數
支持基板尺寸
12inch(兼容8inch)
分辨率
L/S 2/2μm;Hole 4μm
套刻精度
正面
±0.6μm、背面優於2μm
光源類型
LD
產能
40WPH
諮詢熱線:400-600-8500