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DUV/EUV光罩除塵機
產品簡介
項目
參數
應用範圍
用於
3~5~200nmEUV
同時兼容
KrF/ArF
配備
壓縮空氣濾清器、除靜電離子風、
X-Ray除靜電系統
風刀角度
可手動調整高度
&角度
風量壓力控制
電子式氣壓控制
諮詢熱線:400-600-8500