半自動/全自動接觸式光刻機-科毅科技股份有限公司

半自動/全自動接觸式光刻機

產品簡介

項目	參數
曝光光源	350W、500W、1KW、2KW汞燈/UV-LED
晶圓尺寸	2”-12”
均勻性	≤ ±3％和 ≤±5％
對準精度	±1μm（選配±0.5μm）
分辨率	±1μm（選配±0.8μm）
產能	≥70wph

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科毅科技為追求本公司之曝光機（光刻機）、塗布機、光罩、平行光源等光電設備之優良品質，不斷研發製造技術（微影制程/科技），並設有class 1000等級無塵室，使所造之光電設備有更好的測試環境，以提供國內外廠商更精密良好的光電儀器。

此外更不斷針對制程進行改善以提高效率與產能、降低生產成本，才能提供客戶更即時、更具競爭力的產品與服務，進而達到與客戶共創利潤的雙贏局面。

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