商品編號：NikonStepper (亦有二手Stepper)

Model: Nikon i8、i9、i10、i11

尼康stepper步進機設置檢查項目:

• 階段運行測試
• 晶圓平面度測試
• 芯片平整度測試
• 晶圓預對準測試
• BST測試
• 步進測試
• 分劃板旋轉測試
• 鏡頭畸變測試
• 標線盲測試
• 重疊測試
• IUC檢查調整
• 檢查LSA和乾涉儀的激光功率
• 燈功率檢查/燈線性檢查

負載位置調整:

• 加載臂傳動位置檢查
• 晶圓裝載機至舞台位置檢查
• 預先2單元檢查和調整
• O.F表檢查和調整
• 調整晶圓裝載位置
• 晶圓流動和調整功能
• 檢查晶圓裝載機的重複性

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