自动化薄膜测绘
Filmetrics F54 系列的产品能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米
可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.仅需具备基本电脑技能的任何人可在数分钟内自行建立配方
F54 自动化薄膜测绘只需联结设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 可在几分钟轻鬆设置
不同的型号主要是由厚度和波长范围作为区别。通常较薄的膜需要较短波长作测量(如F54-UV) 用来测量较薄的膜,而较长的波长可以用来测量更厚，更粗糙，或更不透明的薄膜
| 型號 | 厚度範圍* | 波長范圍 |
|---|---|---|
| F54 | 20nm-40μm | 380-850nm |
| F54-UV | 4nm-30μm | 190-1100nm |
| F54-NIR | 40nm-100μm | 950-1700nm |
| F54-EXR | 20nm-100μm | 380-1700nm |
| F54-UVX | 4nm-100μm | 190-1700nm |
| Spot Size | 500μm Aperture | 250μm Aperture | 100μm Aperture | 50μm Aperture |
|---|---|---|---|---|
| 5x Objective: | 100μm | 50μm | 20μm | 10μm |
| 10x Objective: | 50μm | 25μm | 10μm | 5μm |
| 15x Objective: | 33μm | 17μm | 7μm | 3.5μm |
| 50x Objective: | 10μm | 5μm | 2μm | 1μm |