F50 系列
自动化薄膜测绘
Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)
测绘图案可以是极座标、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。内建数十种预定义的测绘图案。
不同的F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。标准的F50是最受欢迎的产品。一般较短的波长(例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
光纤电缆
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200
BK7 参考材料
整平滤波器(用于高反射基板)
真空泵
备用灯
型号规格
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型号
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厚度
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波長
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F50
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20nm-70μm
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380-1050nm
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F50-UV
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5nm-40μm
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190-1100nm
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F50-NIR
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100nm-250μm
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950-1700nm
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F50-EXR
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20nm-250μm
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380-1700nm
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F50-UVX
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5nm-250μm
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190-1700nm
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F50-XT
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0.2μm-450μm
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1440-1690nm
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F50-s980
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4μm-1mm
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960-1000nm
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F50-s1310
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7μm-2mm
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1280-1340nm
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F50-s1550
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10μm-3mm
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1520-1580nm
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