DektakXT探针式轮廓仪
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现4Å （0.4nm） 的无与伦比的重复性，扫描速度可提高40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业第一的技术和设计，可提供极致的性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。

加速数据收集和分析
DektakXT 利用独特的直接驱动扫描样品台，将测量时间加快40%，同时保持行业领先的性能。Vision64 是布鲁克的64 位并行处理操作和分析软件，能够更快地加载3D 形貌文件，并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。

提供最高重复性的测量
单拱门结构设计使DektakXT 更坚固，从而将环境噪音的影响降至最低。DektakXT 升级的"智能电子设备"可降低温度变化的影响，并采用现代处理器，最大限度地减少噪声水平，使其成为能够测量<10nm 台阶高度的更强大的系统。

全面的操作与分析
布鲁克的Vision64 软件通过提供最直观、最简化的用户可视化界面，加入到DektakXT 的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析，还是应用自定义筛选器设置和计算，DektakXT 的数据分析器都能显示当前分析结果，同时显示其他可能的分析工具。

让事情变得简单
DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供最广泛的探针尺寸和形状，几乎满足任何应用需求。

确保高通量测试
DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式，以无与伦比的可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。