与射频等离子体相比，微波会产生更高密度的等离子体（离子/基团）和更低的基板感应偏压。由于这一事实，预计微波等离子体中光刻胶的灰化率更高，等离子体损伤更低。IoN Wave 10 等离子系统专为研发和小规模生产应用而设计。PVA TePla 是一种经过验证且值得信赖的全球资源，可提供高质量、可靠、经济高效且易于操作的气体等离子系统。它为各种应用提供了一些最先进和创新的解决方案。
