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IoN Tumbler Plasma System
产品简介

离子不倒翁等离子系统

IoN Tumbler 等离子系统是我们在真空等离子技术方面的最新进展之一。

由于其多功能性和对环境的低影响,气体等离子体正迅速成为生命科学、电子和工业领域材料表面改性的首选技术。

例如,医疗诊断的小型化趋势需要精确清洁和选择性化学功能化。

等离子体去除有机污染物的效率比湿化学处理高几个数量级,并且可以在纳米尺度上对表面进行化学功能化。

因此,血浆正在取代不再实用或经济的旧类型治疗。

IoN Tumbler 旨在满足客户不断变化的需求,强调多功能性和对表面处理需求的控制。

其先进的功能提供最先进的过程控制、故障安全系统警报和数据捕获软件。

这使系统能够满足生命科学行业中严格的质量控制程序。

IoN Tumbler 在紧凑、完全集成的封装中使用射频(RF) 生成的等离子体。

新型IoN Tumbler 的另一个设计特点是能够快速轻松地在不同的腔室尺寸和部件篮配置之间切换。

功能包括

  • 灵活的快速更换电极和腔室选项
  • 即插即用自安装
  • 板载气体发生器包选项
  • 可实现最低拥有成本的节能控制功能
  • 可配置的腔室,可适应小型复杂3 维零件或大批量大型零件加工的各种电极配置
  • 带有基于Windows® 的系统的PLC 或工业电脑
  • 图形用户界面(GUI) 软体符合CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101
  • 用于单独过程开发、操作员和维护编码和控制的使用者控制
  • 可配置的过程公差控制允许精确的批次重复性
  • 通过乙太网进行远程统计过程控制监控
  • 板载诊断功能和报警记录
  • 配方编辑器提供快速且通用的步进控制功能
  • 如果选择了PC 选项,则搭载液晶显示器(LCD) 触摸面板和键盘
  • 可以为粉末和零件配置滚筒篮
咨询热线:400-600-8500

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科毅科技为追求本公司之曝光机(光刻机)、涂布机、光罩、平行光源等光电设备之优良品质,不断研发制造技术(微影制程/技术),并设有class 1000 等级无尘室,使所造之光电设备有更好的测试环境,以提供国内外厂商更精密良好的光电仪器。

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