IoN 100 是一种筒式等离子体反应器,专为研发和生产应用而设计。该技术基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla 在50 多年的时间里开发的经过验证的反应器设计。IoN 100 使用更大的机箱,提供所有气体和电源连接。
功能包括:
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即插即用自安装
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柔性电极
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带液晶触摸屏和键盘的工业计算机。
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基于Windows 的操作系统。
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图形用户界面(GUI) 软件符合
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CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101
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多级用户访问
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软件
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用于快速和多功能步骤控制的配方编辑器
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板载诊断功能和报警记录
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通过以太网进行远程过程监控
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基于网络的在线模拟/培训/支持
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机箱上的泵电源插座
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节能功能—泵控制