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IoN 100 Plasma System
产品简介

IoN 100 是一种筒式等离子体反应器,专为研发和生产应用而设计。该技术基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla 在50 多年的时间里开发的经过验证的反应器设计。IoN 100 使用更大的机箱,提供所有气体和电源连接。

功能包括:

  • 即插即用自安装
  • 柔性电极
  • 带液晶触摸屏和键盘的工业计算机。
  • 基于Windows 的操作系统。
  • 图形用户界面(GUI) 软件符合
  • CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101
  • 多级用户访问
  • 软件
    • 用于快速和多功能步骤控制的配方编辑器
    • 板载诊断功能和报警记录
    • 通过以太网进行远程过程监控
    • 基于网络的在线模拟/培训/支持
  • 机箱上的泵电源插座
  • 节能功能—泵控制

典型应用:

  • 表面清洁
  • 表面活化
  • 表面功能化
  • 矽氧烷和有机薄膜的沉积
咨询热线:400-600-8500

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科毅科技为追求本公司之曝光机(光刻机)、涂布机、光罩、平行光源等光电设备之优良品质,不断研发制造技术(微影制程/技术),并设有class 1000 等级无尘室,使所造之光电设备有更好的测试环境,以提供国内外厂商更精密良好的光电仪器。

此外更不断针对制程进行改善以提高效率与产能、降低生产成本,才能提供客户更即时、更具竞争力的产品与服务,进而达到与客户共创利润的双赢局面。

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