灵活的台式表面形貌计量解决方案
光学轮廓仪提供了高级表征能力、可选定制配件、和使用方便三者的完美融合,是同类产品中最快、最准确、可重复性最高的非接触式三维表面计量系统。
该计量系统占地面积小,采用更大视场、数码摄像头和全新电动XY 工作台,具有卓越的二维/三维高分辨测量能力。
拥有出色的Z 轴分辨率和精确度,具备布鲁克专有白光干涉(WLI)技术广受业界认可的所有优势,而且不存在传统共聚焦显微镜和同类普通光学轮廓仪的局限性。
同类最佳计量技术
光学轮廓仪依托40 多年的WLI 自主创新成果,可满足定量计量所需的低噪声、高速、准确度和精确度。
通过使用多种物镜和图案识别,可以亚纳米垂直分辨率在多个视场跟踪特征,为多个行业的质量控制和过程监控应用提供不受尺寸大小影响的结果。
在反射率0.05% 到100% 的所有表面情况下都能发挥稳定性能。
新增硬件特点包括为获取更大拼接而创新设计的工作台,实现低噪声、更大视场和更高横向分辨率。
最广泛的应用分析能力
采用强大的VisionXpress 和Vision64 用户界面,提供数千种自定义分析以提升实验室和工厂的效率。
布鲁克全新通用扫描干涉(USI)测量模式可提供全自动、自感知表面纹理、优化信号处理,同时对所分析的表面形貌执行最准确、最实际的计算。
该系统采用新款摄像头,扩大了视场,加上新型电动XY 工作台具有的灵活性,提升了处理多种样品和零部件时的灵活性和效率。
软硬体的完美结合,实现卓越的光学性能,全面超越同类计量技术。