LDI激光直写光刻机-科毅科技股份有限公司

LDI激光直写光刻机

产品简介

项目	参数
支持基板尺寸	12inch（兼容8inch）
分辨率	L/S 2/2μm；Hole 4μm
套刻精度	正面±0.6μm、背面优于2μm
光源类型	LD
产能	40WPH

咨询热线：400-600-8500

科毅科技为追求本公司之曝光机(光刻机)、涂布机、光罩、平行光源等光电设备之优良品质，不断研发制造技术(微影制程/技术)，并设有class 1000 等级无尘室，使所造之光电设备有更好的测试环境，以提供国内外厂商更精密良好的光电仪器。

此外更不断针对制程进行改善以提高效率与产能、降低生产成本，才能提供客户更即时、更具竞争力的产品与服务，进而达到与客户共创利润的双赢局面。

联系方式

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