项目 |
参数 |
类型 |
自动上片/下片 |
转速 |
10-6000rpm |
晶圆尺寸 |
2-12吋 |
热盘温度 |
最高150℃ |
控制系统 |
PLC,PC |
均匀性 |
≥3% 和 ≤5% |