DUV/EUV光罩除尘机-科毅科技股份有限公司

DUV/EUV光罩除尘机

产品简介

项目	参数
应用范围	用于3~5～200nmEUV 同时兼容KrF/ArF
配备	压缩空气滤清器、除静电离子风、X-Ray除静电系统
风刀角度	可手动调整高度&角度
风量压力控制	电子式气压控制

咨询热线：400-600-8500

科毅科技为追求本公司之曝光机(光刻机)、涂布机、光罩、平行光源等光电设备之优良品质，不断研发制造技术(微影制程/技术)，并设有class 1000 等级无尘室，使所造之光电设备有更好的测试环境，以提供国内外厂商更精密良好的光电仪器。

此外更不断针对制程进行改善以提高效率与产能、降低生产成本，才能提供客户更即时、更具竞争力的产品与服务，进而达到与客户共创利润的双赢局面。

联系方式

科毅科技股份有限公司：桃园市杨梅区高狮路863巷10号
科毅科技（东莞）有限公司：东莞市长安镇咸西社区德政中路239-7号

400-699-2885

sam@mrnanotec.com