半自动/全自动接触式光刻机-科毅科技股份有限公司

半自动/全自动接触式光刻机

产品简介

项目	参数
曝光光源	350W、500W、1KW、2KW汞灯/UV-LED
晶圆尺寸	2”-12”
均匀性	≤ ±3％和 ≤±5％
对准精度	±1μm（选配±0.5μm）
分辨率	±1μm（选配±0.8μm）
产能	≥70wph

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科毅科技为追求本公司之曝光机(光刻机)、涂布机、光罩、平行光源等光电设备之优良品质，不断研发制造技术(微影制程/技术)，并设有class 1000 等级无尘室，使所造之光电设备有更好的测试环境，以提供国内外厂商更精密良好的光电仪器。

此外更不断针对制程进行改善以提高效率与产能、降低生产成本，才能提供客户更即时、更具竞争力的产品与服务，进而达到与客户共创利润的双赢局面。

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