商品编号：NikonStepper (亦有二手Stepper)

Model: Nikon i8、i9、i10、i11

尼康stepper步进机设置检查项目:

• 阶段运行测试
• 晶圆平面度测试
• 芯片平整度测试
• 晶圆预对准测试
• BST测试
• 步进测试
• 分划板旋转测试
• 镜头畸变测试
• 标线盲测试
• 重叠测试
• IUC检查调整
• 检查LSA和干涉仪的激光功率
• 灯功率检查/灯线性检查

负载位置调整:

• 加载臂传动位置检查
• 晶圆装载机至舞台位置检查
• 预先2单元检查和调整
• OF表检查和调整
• 调整晶圆装载位置
• 晶圆流动和调整功能
• 检查晶圆装载机的重复性

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