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Automatic Cleaning System
产品简介

制造商:DISCO

型号:DCS141

类别: WAFER & MASK SCRUBBERS

 

设备详细讯息:

Wafer cleaning system, 8"
Applicable tape frame size: 2"-8"
Table rotating speed: 0-3000 min-1 (RPM)
Spinner discharge pressure: 2.0-12.0 (Mpa)
Air: 0.5 Mpa 216 L/min
N2: 0.5 Mpa 54 L/min
Water: 0.1 Mpa 0.1 L/min
Power: 100 V, Single phase, 1.5 KVa.
咨询热线:400-600-8500

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